半導体製造装置用消耗パーツ事業
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半導体製造装置に欠かせない消耗パーツ・部品の製造・販売 |
【当社の特徴】
- ①半導体メーカー様と直接取引の為、常に装置御担当者様の生の声に対応致します。
- ②様々な分野のサプライヤーと提携しており、常にお客様に最適なご提案が可能です。
※ 品質、コスト、スピード等、重視されるポイントに対応致します。 - ③30年以上の経験と実績を蓄積しており、様々な問題解決の提案をさせて頂きます。

◆セラミックパーツ

◆セラミックネジ
材質:アルミナ・ジルコニア
メートルネジ・インチネジ他 ネジ径:M1~
頭形状:ナベ・サラ・六角ボルト・
ナベ頭ガス抜き穴付
材質:アルミナ・ジルコニア
メートルネジ・インチネジ他 ネジ径:M1~
頭形状:ナベ・サラ・六角ボルト・
ナベ頭ガス抜き穴付
エッチャー
- ・アルミ、石英、シリコン、アルミナ、ポリイミド等のパーツ製作
- ・硬質アルマイト(硫酸・蓚酸)、無電解Niメッキ、ポリイミドコート等の表面処理。
(例:上部電極、フォーカスリング、エッジリング、インシュレーター、シールド板他)
CVD
- ・アルミ、石英、アルミナ、ALN(窒化アルミ)、サファイア(透明)等のパーツ製作
- ・SiCコート、サファイアコート、テフロンコート等の表面処理
(例:シャワーヘッド、ランプウインドウ、のぞき窓、リフトピン、サファイアチューブ他)
イオン注入
- ・高純度カーボン、セラミック(BN、Al2O3)、高融点金属(W,Mo,Ta,Ti)、
Ag、SUS、Cu等のパーツ製作。
(例:アークチャンバー、フロントスリット、絶縁リング、インシュレーター、分析管ライナー他)
その他
- アッシャー、スパッタ他の各製造装置用パーツにも実績があります。
【ご依頼の一例】
- 1)パーツの図面もしくは、現物部品をお預かりし、見積もり致します。
- 2)コストダウン、ロングライフ化などお客様の御要望に、豊富な経験を活かし耐プラズマ性強化等を目的とした材質変更、形状変更といった提案をさせて頂きます。
”できません”という回答はしたくありません
御客様の御依頼に対して”できません”という回答はしたくありません。
意図される目的に辿り着く方法は、一通りではないと考えています。御希望される方法では難しい場合でも、様々な代替案を提案させて頂き、目的達成を目指します。
最終的には御客様と喜びを共有したいと常に思っています。
これまでの半導体製造装置用の消耗パーツ製作で得た、知識、経験、know-howを生かし、コストダウン、ライフアップ等、御客様の御要望に、迅速に対応させて頂きます。
新旧世代の半導体工場、他業種の生産ライン、商社他の御担当者様、何なりと御相談下さい。
皆様のアシストができましたら幸いです。