セラミックス

高純度アルミナ、ジルコニアなどの特殊な材料や高い品質を求められる材料など様々な材料のパーツを製作させていただきます。
既存パーツの材質変更を行うことで、ライフアップコストダウンといったメリットをお客様にご提供いたします。

セラミックスネジ
 ・材質:アルミナ・ジルコニア
 ・メートルネジ・インチネジ他 ネジ径:M1~
 ・頭形状:ナベ・サラ・六角ボルト・ナベ頭ガス抜き穴付


主な取り扱い材料

アルミナ[Al2O3] 、 ジルコニア[ZrO2] 、 イットリア[Y2O3] 、 炭化ケイ素[SiC]、 窒化アルミ[AlN]、 窒化ケイ素[Si3N4]

 

使用例

耐プラズマ性を高める為に、パーツの材質を石英・Siから高純度アルミナへ変更。
極めて高い耐熱性で機械的強度も高いことから、チャンバー用にジルコニア製ネジを使用。

◆シャフト・棒・パイプ
  形状:外径φ3~Φ22長さmax300mm
  材質:アルミナ99.5%・99.9%・99.99%
     ジルコニア
     イットリア(99%)


◆プレート 
  材質:ジルコニア
     アルミナ99.9%・99.99%
     イットリア99%
  寸法:厚み5~15t、大きさ約角100mm


その他のセラミックスでの製作・加工も可能です。お問い合せ下さい。



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