金属・樹脂・石英・シリコン

特殊な材料や高い品質を求められる材料など様々な材料のパーツを製作させて頂きます。
既存パーツの材質変更を行なうことで、ライフアップコストダウンといったメリットをお客様にご提供いたします。

金属

アルミニウム[Al] 、 ニッケル[Ni] 、 ステンレス[SUS] 、 銅[Cu] 、 銀[Ag]
タングステン[W] 、 モリブデン[Mo] 、 タンタル[Ta] 、 チタン[Ti]
 
  ■アルミ製上部電極およびチャンバーパーツ
  ■焼き嵌めによるCuとMoの異種金属結合品
 
その他の金属での製作・加工も可能です。お問い合せ下さい。

樹脂

テフロン 、 ポリイミド 、 PEEK
POM 、 PET 、 PC
 
  ■テフロン製検査装置用トレイ
  ■ポリイミド製チャンバー保護シート
 
その他の樹脂での製作・加工も可能です。お問い合せ下さい。

石英・シリコン

SiO2 、 Si
 
  ■半導体製造装置用エッジリング フォーカスリング シールドリング
 



社名

住所

電話番号

ファックス

メール

URL

:  株式会社ファブアシスト

:  京都府京田辺市大住小林3-23 ジュネス京田辺105

:  0774-62-3038

:  0774-65-3618

:  info@fab-assist.co.jp

:  fab-assist.co.jp

Copyright© 2020 株式会社ファブアシスト|半導体製造装置用部品・特殊材料・表面処理 All Rights Reserved.